材料

玻璃、石英等

形状

圆形

外径

3”——12”寸等

外径尺寸

76.2mm——300mm

外径公差

±0.05mm

厚度

0.1mm——2.0mm

最小厚度

0.1mm

TTV

<3μm

BOW

<20μm

WARP

<30μm

外观质量

20/10

粗糙度

Ra<5nm

倒边

45°，C0.2+/-0.1mm

* 备注：可以根据客户需求定制