材料

玻璃、石英等

外径尺寸

29.3×11mm

外径公差

±0.03mm

最小厚度

0.15mm

TTV

<5μm

流道槽宽

<60μm

外观质量

20/10

粗糙度

Ra<1nm

深度公差

±5μm

* 备注：可以根据客户需求定制