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精密光学玻璃制造商

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12英寸光刻设备用特种玻璃晶圆案例

了解罗克如何与材料合作伙伴联合开发用于光刻设备的12英寸、10 mm厚特种玻璃晶圆，并实现PV ≤ 1.0 μm、平行度 ≤ 1.8 μm以及表面粗糙度Ra ≤ 0.18