了解罗克如何与材料合作伙伴联合开发用于光刻设备的12英寸、10 mm厚特种玻璃晶圆，并实现PV ≤ 1.0 μm、平行度 ≤ 1.8 μm以及表面粗糙度Ra ≤ 0.18
了解罗克如何与材料合作伙伴联合开发用于光刻设备的12英寸、10 mm厚特种玻璃晶圆，并实现PV ≤ 1.0 μm、平行度 ≤ 1.8 μm以及表面粗糙度Ra ≤ 0.18
光刻机用特种玻璃晶圆对材料纯度、光学均匀性、热稳定性及加工精度均有极高要求。此前，该领域核心材料长期由单独一家材料公司，行业内客户在材料来源、交期及供应安全上存在较大隐患。
三年前，罗克与材料商启动联合开发，针对光刻机用12英寸特种玻璃晶圆进行材料配方与性能攻关。材料商负责玻璃熔融与材料性能开发，罗克负责将材料加工为高精度玻璃抛光片，并进行系统性测试与工艺验证。
目前，我们的客户已成为行业内第二家能稳定供应10mm晶圆的材料商。
行业内仅有一家材料商提供该特种材料，虽然前期市场需求不大，但单一供应源存在断供风险，国内客户缺乏替代选择。
产品需要在12英寸大尺寸基础上，同时满足面型≤1.8 μm、平行度≤2 μm、表面粗糙度≤0.2 nm、同心度≤±0.03 mm的复合精度要求，对冷加工工艺和装备提出极高挑战。
这些指标对冷加工工艺和装备提出极高挑战。
罗克与材料商从两年前开始深度合作，材料商负责玻璃熔融及配方性能开发，罗克负责将不同批次材料加工为玻璃抛光片，进行全流程冷加工测试，并将加工性能、面型保持能力、表面质量等数据反馈材料商，共同迭代优化材料配方。
在此过程中，材料商敏锐发现行业痛点：材料供应单一，一旦出现变动，行业内可能面临断供。随着行业需求快速增长，双方联合开发的产品直接衔接市场需求，快速进入终端客户验证阶段。
针对该特种玻璃晶圆尺寸大、厚度高、精度要求极端的特点，罗克开发了专项多道抛光工艺路线，重点解决厚板面型控制、平行度保持、超低粗糙度实现及同心度保证等核心难题。
| 参数 | 指标要求 | 罗克实现 |
| 产品尺寸 | 12英寸 | 12英寸 |
| 产品厚度 | 10 mm | 10 mm |
| 面型精度 (PV) | ≤ 1.8 μm | ≤ 1.0 μm |
| 平行度 | ≤ 2 μm | ≤ 1.8 μm |
| 表面粗糙度 | Ra ≤ 0.2 nm | Ra ≤ 0.18 nm |
罗克与材料商联合开发的特种玻璃晶圆，已完成对现有材料的完全替代，该领域的独家供应局面，迈出产业链安全替代第一步。
客户不再依赖单一来源，显著降低断供风险。
在12英寸大尺寸、10 mm厚度条件下，同时实现面型≤1.0 μm、平行度≤1.8 μm、粗糙度≤0.18 nm、同心度≤±0.030 mm的复合精度要求，体现了罗克在高难度特种玻璃冷加工领域的技术能力。
这些结果体现了罗克在高难度特种玻璃冷加工领域的技术能力。
产品已送多家行业龙头企业持续验证，无任何问题，并已向多家龙头企业稳定供应，产品可靠性与一致性得到充分认可。
罗克光电对不同批次材料进行了测试，并分享了关于可加工性、面形精度及抛光性能的数据，协助材料制造商优化玻璃配方。
双方遵循了材料准备、样品加工、测量、反馈和优化的迭代流程。
12英寸、厚度10mm的晶圆实现了PV值≤1.0μm，平行度≤1.8μm，粗糙度Ra≤0.18nm，同心度控制在±0.030mm以内。
此次合作建立了额外的合格供应渠道，降低了对单一材料来源的依赖。
可以。罗克光电能够为其他特种玻璃项目提供材料评估、样品加工、测量反馈及工艺验证等支持。
